目次

1章　半導体集積回路の発展とリソグラフィ技術の役割
1.1　半導体産業の位置づけとリソグラフィ技術
1.2　リソグラフィ技術とは
1.3　リソグラフィシステムの発展
1.4　まとめ

2章 光リソグラフィ技術
2.1　はじめに
2.2　露光装置の構成
2.3　光露光装置の解像性能
2.4　露光光学系の諸要素
2.5　露光装置の全体性能
2.6　光リソグラフィの今後

3章　EUVリソグラフィ
3.1　はじめに
3.2　露光装置の構成
3.3　露光光学系
3.4　EUV露光を形成する諸要素
3.5　EUV露光系の結像性能
3.6　高NA EUV露光装置のシステム
3.7　EUVリソグラフィの将来

4章　電子線リソグラフィ技術
4.1　はじめに
4.2　レジスト中での電子の散乱とエネルギーの堆積
4.3　近接効果とその補正技術
4.4　電子線描画方式

5章　ナノインプリントリソグラフィ技術
5.1　はじめに
5.2　NIL技術
5.3　NIL技術の技術と性能

6章　レジスト
6.1　リソグラフィの動向とレジスト
6.2　レジストに要求される性質
6.3　リソグラフィ技術で用いる露光波長と光化学
6.4　光化学
6.5　EUV（X線）と分子との相互作用
6.6　電子線と分子との相互作用
6.7　現像　有機溶媒現像とアルカリ現像
6.8　ｇ線、i線用ジアゾナフトキノン（DNQ）－ノボラック樹脂系ポジ型フォトレジス
6.9　KrFエキシマレーザ（248nm）用化学増幅系レジスト
6.10　ArFエキシマレーザ（1９３nm）リソグラフィ用化学増幅レジスト
6.11　ArF液浸用レジスト
6.12　EUV（Extreme UV）用レジスト
6.13　電子線レジスト
6.14　自己組織化パターン形成DSA（Directed Self Assembly）
6.15　微細加工用レジストの課題
6.16　今後の課題

7章　マルチパターニング技術　MPT：Multiple Patterning Technology
7.1　はじめに
7.2　LELE型マルチパターニング技術
7.3　Sidewall Spacer型マルチパターニング技術
7.4　微細ピッチ及び微細寸法のコンタクトホールパターンの形成
7.5　MPT技術利用の効果
7.6　その他のMPT技術
7.7　レジスト膜の多層化技術

8章　マスク技術
8.1　はじめに
8.2　マスクパターンの作成
8.3　光リソグラフィ用マスク
8.4　EUVリソグラフィ用マスク
8.5　カーブリニア型マスクとマルチビーム型電子線描画装置
8.6　SMO技術（Source Mask Optimization技術）
8.7　欠陥検査・修正技術
8.8　NIL用のマスク

9章　計測評価技術
9.1　はじめに
9.2　レジストパターンの計測評価
9.3　ストキャスティック欠陥の検査
9.4　Line Edge Roughness（LER）・Line Width Roughness（LWR）の計測
9.5　OCDによる寸法計測
9.6　パターン位置の計測評価
9.7　重ね合わせ精度およびEdge Placement Errorの計測評価
9.8　AFM、STMやCD-SAXを用いた寸法計測

10章　半導体リソグラフィ技術の今後の展開
10.1　半導体集積回路寸法微細化の動向
10.2　半導体プロセスにおけるCO２排出量の問題
10.3　半導体リソグラフィ技術の今後の課題